外廊盘绕式:走廊可以有窗户和无窗户，可以用来观赏和放置一些设备。有的在走廊里设置直接供暖，如果外窗是双层密封窗。
内廊式:将无尘区设置在外面，走廊则设在内面。这种走廊的等级几乎接近于无尘车间。
两端式：无尘区位于一侧，另一侧设置无尘及辅助用房。
中心式：缩短管道，以无尘区为中心，上下、左右被辅助用房和遮蔽管道的空间包围。这种方法既避免了室外气候对无尘区的影响，又降低了冷热能耗，有利于节能。
物料净化道路应与人工净化道路分开。如果人和物只能在同处进入，那么物料应先进行粗净化处理，人和物料分开进入无尘车间。
在系统规划方面，物理净化室的粗净化和净化阶段会吹掉大量的生颗粒。为了减少操作走动中造成的污染，工作人员应提前更换无尘衣物，洗手、消毒、淋浴。
